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氮氢混合气在电子器件中的应用

2021-01-26 17:59:58

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　　在电子器件的生产过程中。各种高纯气体被广泛使用。根据高纯气体在工艺中的不同用途，可分为保护气体、反应气体和载气。

　　氢气、氮气、氧气及其混合物用作保护气体。在中国，为了获得氢气和氨，以及获得高纯度的氢气，一般采用纯水电解。这种方法电解水需要大量电能，一般达到4.5 ~ 5.5千瓦时/Nm3H2，成本高。

　　为了降低能耗和成本，各种混合气体正在被开发和应用。其中氮氢混合物的应用最多。在国外，氮氢混合物是通过液氢和液氮的汽化得到的，氮氢混合物是通过液氮的分解得到的。

氮氢混合气在电子器件中的应用

　　通过蒸发液氢和液氮获得氮氧混合物的方法由于采用液化然后蒸发的过程，因此投资和成本高。在国外，由于生产专业化程度高，用户经常使用这种方法获得混合气体。在中国，如果从专业工厂或大型合资企业的副产品中获得液态氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮获得的氢和氯高几倍。由于液氮的来源不同，液氨分解得到的氮氧混合物大多质量较差，仍含有氨、水、氧等不溶杂质。此外，大部分液氮来自化肥厂。目前货源紧张，成本高。

　　氮氢混合物不仅可以代替氧气作为电子器件生产中的保护气体，还可以广泛应用于冶金、化工、机械等行业。一旦广泛使用，将带来可观的经济效益和社会效益。