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高纯气体(PurifiedGases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。概述高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯
